OMAL氣動執行器在半導體制造行業超純水工藝上的解決方案
作者： 得銳自動化發表時間：2023-10-07 14:10:57瀏覽量：579【小中大】
半導體制造行業是當今科技領域的重要組成部分，對于超純水的需求量較大，要求水質極高的純凈度，以保證半導體產品的質量和精度。在光刻技術精度不斷縮小到10納米以下的今天，對于超純水的要求在晶圓制造過程中已...
半導體制造行業是當今科技領域的重要組成部分，對于超純水的需求量較大，要求水質極高的純凈度，以保證半導體產品的質量和精度。在光刻技術精度不斷縮小到10納米以下的今天，對于超純水的要求在晶圓制造過程中已經變得極為嚴格。超純水（UPW）是指按照極其嚴格的規格進行凈化處理后的水，其具有特定的成分和特性，是半導體制造過程中不可缺少的關鍵因素。
為了獲取符合規格等級的超純水，需要借助專門的拋光系統來處理高純水。這個過程中，超純水會通過使用超高純管道（通常也稱為pvdf管道）進行輸送，以去除污染物、礦物質、微生物以及微量有機和無機化學品。隨后，符合規格等級的超純水會輸出并用于晶圓廠的各種工藝流程中，如晶圓清洗、沖洗、表面處理、濕法蝕刻、溶劑流程和化學機械平坦化等。
在這個過程中，OMAL氣動執行器發揮著重要的作用。它可以被用于UPW拋光解決方案、存儲和分配系統中，確保超純水在整個輸送和處理過程中能夠得到精確的控制和分配。通過使用OMAL氣動執行器，可以更好地確保超純水工藝的穩定性和可靠性，進一步提升了半導體制造的質量和效率。
在半導體制造行業的超純水工藝中，OMAL氣動執行器主要有以下3個方面的作用：
1. 水質監測：通過使用OMAL氣動執行器配備的感應器，對超純水的各項指標進行實時監測，如PH值、電導率、壓力、溫度等，以確保水質達到半導體制造的要求。
2. 閥門控制：OMAL氣動執行器可以精確控制超純水工藝中的各種閥門，實現自動化控制和調節，保證工藝流程的正常運行。
3. 流量控制：OMAL氣動執行器可以通過調節閥門的開度，實現對超純水流量的精確控制，以達到生產工藝的需求。
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